等离子清洗机的原理及应用 - 常见问题 - 培养箱-干燥箱-干燥器-恒湿箱-试验箱-灭菌器-清洗机-色谱仪-深圳市华德维康科技有限公司

● 等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。
● 等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。
● 等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。
● 等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

■ 优势：

① 清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理；
② 用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；
③ 避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法；
④ 等离子体的方向性不强，可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
⑤ 可以使得清洗效率获得极大的提高，整个清洗工艺流程几分钟内即可完成；

⑥ 需要控制的真空度约为100Pa，条件很容易达到。加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
⑦ 避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以场地很容易保持清洁卫生；
⑧ 可以不分处理对象：无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理，因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；
⑨在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。

■ 工业应用：

● 橡塑行业 ● 纺织纤维行业

● 汽车行业 ● 国防行业
1 点火线圈 1 航空航天电连接器
2 发动机油封片 2 凯夫拉处理

● 电子行业 ● 医疗行业
1 硬盘塑料 1 静脉输液器
2 耳机听筒 2 导尿管的处理
3 手机外壳

■ 适用于研究开发的小型等离子清洗机：
■ 用途
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装
■ 特征
● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器

■ 小型、多段式等离子清洗机：

■ 用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 灰化、蚀刻处理
● 塑料封装前处理
● 印刷基板镀层前处理
● LED关联部品处理
● 电子部品清洗
● 光刻胶剥离或表面残留物去除
● 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
● FCC对应

■ 经济型等离子清洗机：

■ 用途
● 有机膜的去除（油、蜡等）
● 电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理
● 细菌的消毒等
● 高分子材料表面的官能基付与→ 粘合性，密着性提高
● 提高各种聚合物的粘结性以及提高医科齿科材料的生物相容性等
● 通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等
● 有机高分子材料的蚀刻
● 促进种子发芽等实验

■ 经典型低温等离子灰化机：

■ 用途
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应
■ 特征
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）